ECHO Pro™ 全自动超声波扫描显微镜

全自动生产型:

● 批量 Tray盘和框架直接扫瞄
● 编程自动判别缺陷
● 高产量,无需人员重复设置
● 自动烘干

SONIX 硬件优势
 
● 紧凑、稳定的结构设计
    模块化设计使得结构简单、稳定，易于维护
● 高速、稳定的马达设计
    扫描轴采用的线性伺服马达，提供高速、稳定、无磨损的扫描
● 专利的超声波探头/透镜
    提供的缺陷检验，小能探测到仅0.1微米厚度的分层。
● PETT技术
    反射及透射同时扫描，有效提高元器件分析效率