产品介绍

探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。

技术优势

模块化设计，可以搭建不同构件完成不同测试

探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节    

兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试

兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜，可360°旋转和微调升降

漏电流精度：10pA/100fA（屏蔽箱内）

探针采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计

1微米以上电极/PAD使用

加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座

全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式

模块介绍及参数

通用参数

4英寸

110×110mm

3μm

270倍高清（体式显微镜）

100fA（KEITHLET2636B实测）

3μm（可升级1μm/0.5μm）

25×25mm

BNC/三同轴接口

可以引出背电极

标配3个

产品示意图

应用领域：

半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等

实验附件及常规测试步骤：

光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等。

测试时连接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面，待连接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套探针台系统，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。