云南恒云净化工程有限公司
主营产品: 环保项目合作
十万级洁净车间-恒云-GMP洁净车间造价
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净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
FFU循环系统的特点是:整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成,由FFU提供循环空气的动力,将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层,静压层相对于工艺层为负压。此外,还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域,包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。
云南恒云净化工程有限公司是一家空气净化空调设备安装专业公司。
基础的承受能力按大于机组总重量的1.2倍进行考虑,务必注意承载体的强度和可靠性,否则将有重大隐患;基础高度应高于机房地平面200-300mm,小型号机组基础取小值,机组外形尺寸长宽各大于机组外形尺寸长宽50-100mm;基础表面应平整、光洁,其对角线水平误差以不超过5mm为宜,如基础不水平,可能会导致冷凝水排放不畅,造成漏水;对于安装在地面上的机组,为减少机组振动的传递,建议在机组底座下放置减振胶垫。