•  金属,合金,非金属,化合物等材料的高品质蒸发镀膜                                                 

•  镀膜精度高,可达10E-10m

•  蒸发镀膜的纯度高,附着力强

•  镀膜的均匀性好,重复性优异

•  配置离子源进行表面处理                             

•  .配置热阻蒸发,省材料

•  上位通信,材料扫描功能                                     

•  2～12inch,不定型片,方片蒸发

产品特性：

•  功率器件   

•   LED    

•  光通信/传感器    

•  LD   

•  高校及研究所等