云南恒云净化工程有限公司
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洁净车间施工-GPM无尘洁净室-恒云洁净
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净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
洁净车间是一个多功能的综合体,洁净车间工程是一个多学科、多领域、综合性的工程。由于洁净车间工程技术难度高,工程造价大,因此,在实施洁净工程时,一直注重洁净车间的设计。清洁车间的设计一般应遵循“三不一要”的原则。
一、不带入:不向洁净车间带入任何灰尘。
遵循这个原则,洁净车间设计时,应做好如下的工作:
1、过滤器正确安装,不会出现灰尘泄漏的情况。
2、保持洁净车间相对于室外的正压,只能让室内的污染空气出去,不能让室外的空气通过缝隙进入洁净车间。
3、人员进入洁净车间之前,必须做好清洁工作,更换洁净服,并经过风淋室风淋,如此方可进入。
4、材料与设备经清洁后方可进入洁净车间。
机组与风道连接处应设柔性接管,风管的重量不应由机组承受,连接处应进行密封及保温处理,避免漏风和凝露,机组出风口必须保证至少2倍出风口长边尺寸的直风管,弯管和变径会增大额外压损,造成风量不足。空气过滤技术多用于通风及空调进气系统中,净化大气中的粉尘颗粒,使进入室内空气更为干净,利用空气过滤器能捕集亚微米粒子。机组所有进出管路全部保温,阀门、接头保温要留出维护操作部位,如采用蒸汽盘管,在蒸汽管口处须安装疏水器,排水通畅。中净环球净化可提供净化车间、洁净厂房的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。