催化燃烧用的是表面具有贵金属和金属氧化物的催化剂，将有机污染物的废气在催化剂铂、钯的作用下，可以在较低的温度下将废气中的有机污染物氧化成二氧化碳和水。催化剂的加入并不能改变原有的化学平衡，所改变的仅是化学反应的速度，而在反应前后，催化剂本身的性质并不发生变化。催化燃烧设备主要由活性炭吸附箱、阻火器、热交换器，催化反应床，风机这几个主要部件组成。与直接燃烧相比，催化燃烧温度较低，燃烧比较完全。