光氧催化废气处理设备利用高能UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧所携正负电子不平衡，所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧对紫外线光束照射分解后的有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它

刺激异味有良好的消除效果。利用高效能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭以及灭菌的目的。