硅橡胶的耐热性既与生胶的种类、乙烯基含量（交联密度）、耐热添加剂、填料的种类及用量等有关，还与混炼胶的pH值及含水量等有关。因而对生胶聚合催化剂的选择，反应后残余催化剂的中和，白炭黑等填料及结构控制剂的选择都十分注意。耐热品级的硅橡胶，在高温（>250℃）条件下，硬度增加缓慢，拉伸强度及断裂伸长率等下降也缓慢。

氟硅橡胶是侧链引入氟代烷基的一类硅橡胶。常用的氟硅橡胶为含有甲基、三氟丙基和乙烯基的氟硅橡胶。

腈硅橡胶是侧链引入腈烷基（一般为β—腈乙基或γ—腈丙基）的一类硅橡胶。极性腈基的引入改善了硅橡胶的耐油、耐用溶剂性能，但其耐热性、电绝缘性及加工性则有所降低。

苯醚撑硅橡胶具有良好的力学性能，一般抗张强度可达150~180公斤/平方厘米（即14.7~17.7Mpa远高于乙烯基硅橡胶强度，同时具有优良的耐辐射性能并优于苯撑硅橡胶。它可耐长时间250℃热空气老化，老化后仍具有较高的强度。苯醚撑硅橡胶的低温性能虽然比乙烯基硅橡胶差，但却远优于苯撑硅橡胶。其介电性能与乙烯基硅橡胶接近，但苯醚撑硅橡胶的耐油差，既不耐非极性的石油基油，也不耐极性的合成油（如4109双酯类合成润滑油、磷酸酯液压油的性能。总之，苯醚撑硅橡胶与乙烯基硅橡胶相较具有较高的强度和抗辐射性能，相似的耐高温性能和介电性能，较差的低温性能、耐油性能和弹性。苯醚撑硅橡胶具有良好的加工工艺性能可用于制造特殊要求的模型制品和压出制品。