超纯水指的是纯度极高的水。这是一种工业用水，集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。

蒸馏水是指经过蒸馏、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，三次的叫三蒸水。低耗氧量的水，加入与酸工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得。词条详细介绍了蒸馏的概念、蒸馏水、多次蒸馏水、蒸馏水的标准、制作方法、优点、用途；并且与去离子水、高纯度水、超纯水进行了对比分析。

超纯水指的是水中的离子几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。需要经过预处理、反渗透、EDI、树脂、杀菌器等多层工艺才能够制成，超纯水的电阻率能够达到18兆欧·CM，高能够达到18.25兆欧·CM。