真空泵性能特征:1、低噪音、低振动、直联式风冷结构内置油雾分离器过滤器，可达9.9%的油气过滤效果。2、进气设计有止网阀，泵浦停机时泵体内的油不返流；保养方便、维护费用低、环保节能。3、结构紧凑、外观精美、体积小、节省空间配置气镇阀，可适用于蒸汽之制程。

特点(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。