三靶离子溅射仪SD-2000Ⅲ是一款可同时安装三个靶材的离子溅射仪。应用于需要做复合膜的情况下。靶头和样品台联合工作，哪个靶头处于工作状态，样品台会自动旋转到该把头下。避免了想做复合膜时更换靶材和放气的问题。