射频电源维修AE/ENI/RF/MR射频电源专修

射频电源维修、对光伏企业生产设备如：刻蚀设备所用的国产中科院及中国微电子所研究制造的SY型射频功率源包括黑色面板和白色面板两种，功率包括：1KW、1.5KW、2KW、10KW以及进口刻蚀设备射频电源维修；PECVD所用的美国AE PEII 10K 和 AE PEII 5K等AE射频电源维修；RF射频电源维修，烧结炉驱动卡维修；1394电机驱动卡维修;baccini丝网印刷机设备工控主板维修、相机驱动卡维修、恒温槽维修等光伏设备电子备件维修有丰富的维修经验。我们的维修具有修复率高、维修速度快，价格实惠等优点，能提供现场维修及调试服务。

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射频电源常见故障及维修：

故障现象1：打开电源，电源指示灯不亮；

故障现象2：电源灯亮了，预热灯不亮；

故障现象3：电源灯亮了，预热灯亮、辉光亮，匹配器功率及反射功率，电源的功率指示和电流指示不正常。（正常的功 率指针指到220，电流指示0.4）

故障现象4：电源灯亮了，预热灯亮，辉光不亮:；

故障现象5：无功率输出；

故障现象6：有功率输出，但是调不大，或是调不到正常值。

故障现象7：无反射功率，或反射功率过大，射频功率源坏；

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