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OSAKA分子泵大阪分子泵TGkine3800M-R/TGkine4200M-R
价格
订货量(台)
￥333333.00
≥1
店铺主推品 热销潜力款
联系人 魏经理
憩憦憪憩憦憧憪憨憭憫憪
发货地 上海市闵行区
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商品参数
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商品介绍
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联系方式
品牌 OSAKA大阪真空
型号 TGkine3800M-R / TGkine4200M-R
重量 72KG
驱动方式 电动
输送介质 空气
吸气口法兰 VG300 / ISO-B320/VG350
排气口法兰 KF40/KF50
排気速度N2 (L/s) 3600/4200
排気速度H2 (L/s) 2700
起动时间 ≦12min
停止时间 ≦14min
安装方向 正立或倒立安装
商品介绍
OSAKA分子泵 大阪分子泵
TGkine3800M-R / TGkine4200M-R
产品特点：
省电设计
在真空泵本体中，可存储设置参数，运转数据及异常历史等。
※即使在维护阶段更换控制器，也可实现全数据转移。
支持多种通信接口规格 （兼容EtherCAT通信协定）
适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2
产品应用： 半导体制造设备
FPD制造设备
太阳能电池制造设备
玻璃/镜片等光学部件加工
镀膜工艺
加速器/宇宙环境模拟器技术参数：型号※1TGkine3800M-R
TGkine4200M-R
吸气口法兰
VG300 / ISO-B320
VG350
排气口法兰※2KF40 / KF50
排气速度
N2 (L/s)3600
4200
N2(付带金属保护网) (L/s)
3400
4000
H2 (L/s)2700
2700
zui大压缩比
N2>2×108H22×103zui大气体流量※3、※4N2 (sccm)2800
Ar (sccm)
1300
起动时间
(min)
≦12
停止时间
(min)
≦14
到达压力※5(Pa）
<5×10-7(Torr）
<3.8×10-9zui大排气口压力※6(Pa)
160
(Torr）
1.2
推荐前级泵
(L/min)
≧2000
安装方向
正立或倒立安装
质量
(kg)
72 / 74
70
联系方式
公司名称 上海盈炽商贸有限公司
联系卖家 魏经理
手机 憩憦憪憩憦憧憪憨憭憫憪
地址 上海市闵行区
魏经理
憩憦憪憩憦憧憪憨憭憫憪
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