真空泵石墨刮片对材料要求密度高，颗粒度小，膨胀系数低， 细颗粒高纯石墨的熔点为3850±50℃，沸点为4250℃，即使经超高温电弧灼烧，重量的损失很小，热膨胀系数也很小，石墨强度随温度提高而加强，石墨的特性和真空泵石墨刮片的应用高度契合。

真空止回阀，是一种超薄形止回阀，它具有结构简单、外形美观、重量轻、安装方便等优点。该阀主要适用于给水系统、石油、化工、冶金等工业部门对有安装空间限制的场所最为适用。

真空泵叶片也称真空泵旋片，一般旋片式真空泵内部均安装有真空叶片，是真空泵抽真空时获取真空源的配件之一。真空泵旋片在泵体内不运转过程中会产生摩擦，在没有真空泵油润滑的情况下极容易导致真空泵叶片发生磨损或断裂、膨胀等现象。由此从而导致真空度不足，真空上不去。

真空泵排气过滤器学名真空泵油雾分离器，主要应用于油封旋片式真空泵，如：普旭真空泵、莱宝真空泵、贝克真空泵、里其乐真空泵、大路通真空泵、爱德华真空泵等用真空泵油作为介质抽除气体达到真空的设备。这种加装油雾分离器的油封旋片式真空泵主要具有过滤真空泵油与气体的功能，使真空泵排气口排出清洁干净的空气、不污染工作环境，适合厂房、室内使用等。