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主营产品: 波前传感器, 深度制冷短波红外相机, 可调谐太赫兹源
ATL-Lasertech准分子激光器短脉冲准分子激光器系列-多型号可选
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一、产品简介
1、准分子激光器采用ArF、KrF作为增益介质,是产生大能量、重复频率输出的193nm、244nm激光输出的主要手段。短波长激光器对材料有良好的冷剥离能力,同时成像分辨率较高,广泛用于微加工、掩膜刻写、激光烧蚀等领域。德国ATL Lasertech 公司专业生产小型化、高重频、短脉冲准分子激光器,主要应用于:
l眼科手术
l玻璃及塑料微加工
l微制造
l激光剥蚀
lTOF质谱
lFBG刻写
2、ATL 提供ATLEX、专用于FBG刻写的ATLEX-FBG系列,低负荷的ATLEX-LR系列,以及非常紧凑的ATLEX-S系列。产品采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求:
l软电晕预电离
l全固态高压脉冲发生器
l激光头容积 < 3L
l全金属-陶瓷管路
l集成真空泵及卤素过滤器
l全风冷,主动热管理
lRS485,RS232,USB以及光纤接口
l可冲洗光具座
l能量稳定模式
二、型号及参数
1、ATLEX-I 系列
ATLEX-I依据重复频率的不同,分为ATLEX-300-I、ATLEX-500-I、ATLEX-1000-I三个型号。
增益介质 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
波长(nm) | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | |
高压开关技术 | 固态开关 | |||||
最高脉冲能量(mJ) | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | |
最高平均功率(W) | ATLEX-300-I | 0.2 | 2.4 | 4.0 | 2.0 | 1.7 |
ATLEX-500-I | 0.5 | 4.0 | 6.5 | 3.0 | 2.5 | |
ATLEX-1000-I | N/A | 8 | 10 | N/A | N/A | |
最高重频(Hz) | ATLEX-300-I | 300 | ||||
ATLEX-500-I | 500 | |||||
ATLEX-1000-I | 1000 | |||||
脉冲宽度(ns) | 5 - 8 | |||||
光束尺寸(mm) | 4×6 | |||||
光束发散角(mrad) | 1×2 | |||||
能量稳定性(rms) | 3% | |||||
外形尺寸(mm, L×W×H) | 540×470×300 |
2、ATLEX-FBG系列
ATLEX-FBG系列专为FBG刻写设计,具备较好的空间相干性指标。ATLEX-FBG共300、500两个型号。
增益介质 | ArF | KrF | |
波长(nm) | 193 | 248 | |
高压开关技术 | 固态开关 | ||
最高脉冲能量(mJ) | 10 | 15 | |
空间相干性(光斑竖直方向)(um) | >300 | ||
最高平均功率(W) | ATLEX-300-I | 2.4 | 4.0 |
ATLEX-500-I | 4.0 | 6.5 | |
最高重频(Hz) | ATLEX-300-I | 300 | |
ATLEX-500-I | 500 | ||
脉冲宽度(ns) | 5 - 8 | ||
光束尺寸(mm) | 4×6 | ||
光束发散角(mrad) | 1×2 | ||
能量稳定性(rms) | 3% | ||
外形尺寸(mm, L×W×H) | 540×470×300 |
3、ATLEX-LR系列
ATLEX-LR 系列适合低负荷使用,专门为激光剥蚀(Laser Ablation)设计。激光为193nm输出优化,同时具有非常快的上升沿和高峰值功率。
增益介质 | ArF |
波长(nm) | 193 |
高压开关技术 | 固态开关 |
最高脉冲能量(mJ) | 12 |
能量稳定选项输出(mJ) | 10 |
脉冲宽度(ns) | 5 |
光束尺寸(mm) | 4×6 |
光束发散角(mrad) | 1×2 |
能量稳定性(rms) | 3% |
外形尺寸(mm, L×W×H) | 540×470×300 |
4、ATLEX-S系列
ATLEX-S具备更小的尺寸,适合低-中负荷的应用。
增益介质 | ArF | KrF | |||
波长(nm) | 193 | 248 | |||
高压开关技术 | 固态开关 | ||||
最高脉冲能量(mJ) | 10 | 15 | |||
最高平均功率(W) | 2.4 | 4.0 | 4 | 6 | |
最高重频(Hz) | 300 | 500 | 300 | 500 | |
脉冲宽度(ns) | 5 - 8 | ||||
光束尺寸(mm) | 4×6 | ||||
光束发散角(mrad) | 1×2 | ||||
能量稳定性(rms) | 3% | ||||
外形尺寸(mm, L×W×H) | 630×400×300 |
如有其他需求,请联系我们。