主要技术指标

1.    舱耐极限真空 ＞8X10-2Pa

2.    极限真空度1 Pa -5Pa；

3.    泵舱内自动正常保压20Pa—100Pa

4.    共四个舱室，各舱室能独立打开或关闭

注：以上性能指标是在室温为+25℃，无试样条件下测得的数据。