主要构成
     主要由对准工作台、双目分离视场CCD显微显示系统、LED曝光头、PLC电控系统、气动系统、真空管路系统、直联式真空泵、二级防震工作台和附件箱等组成。

主要技术指标：

1、曝光类型：单面；配置4"LED用曝光头

2、曝光面积：110×110mm；

3、曝光照度不均匀性：≤±3%；

4、曝光强度：0～30mw/cm2可调；

5、紫外光束角：≤3?0?8；

6、紫外光中心波长：365nm；

7、紫外光源时间：≥2万小时；

8、采用电子快门；

9、曝光分辨率：1μm

10、显微镜扫描范围：X： ±15mm   Y：±15mm；

11、对准范围：X、Y 调节 ±4mm；Q向调节±3°；

12、套刻精度：1μm；

13、分离量；0～50μm可调；

14、曝光方式：接触式曝光，可实现硬接触、软接触和微力接触曝光；

15、找平方式：气浮找平；

16、掩模版尺寸：≤127×127mm；

17、基片尺寸：≤Φ102mm(或者102×102mm)；

18、基片厚度：≤5 mm；

19、曝光定时：0～999.9秒可调；

联 系  人：刘先生/康先生/左先生
移动电话：139-0818-7709（刘总）
          177-1362-6490（康经理）
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