X荧光光谱仪是一种快速的、非破坏式的物质测量方法。X射线荧光是用高能量X射线或伽玛射线轰击材料时激发出的次级X射线。这种现象被广泛用于元素分析和化学分析，特别是在金属，玻璃，陶瓷和建材的调查和研究，地球化学，法，考古学和艺术品，例如油画和壁画。
X荧光光谱仪操作时注意事项：
1、在测量过程中，不要突然断电；
2、不要直接分析低熔点样品，如低熔点沥青、、油漆等，有些样品在室温下是固体，经射线照射会融化，如果滴到光管头上，会损坏仪器。如果要分析，请放在液体杯内测量；
3、分析液体样品和粉末样品时，必须在氦气模式下测量，不能抽真空；
4、不要长时间分析液体样品，液体杯的照射时间一般不能超过半小时；
5、不要分析压得不坚实的样品，如有裂纹的压片。如果大块样品掉到了样品室，不能再进行样品分析，请通知三翔分析仪器；
6、光管头上的铍窗是有毒的，而且比较贵重，一旦铍窗破了，整根光管就报废了，请注意：不能用任何物体碰光管头上的铍窗。如果有样品掉到铍窗上，只能用吸耳球将铍窗上的样品轻轻吹掉，不要用酒精棉花擦。

X荧光光谱仪优点：
1、分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟*可以测完样品中的全部待测元素；
2、X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。(气体密封在容器内也可分析)但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定；
3、非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好；
4、X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析；
5、分析精密度高；
6、制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。

X荧光光谱仪的优势：
1、制样简单：通常情况下是物理制样。试样经过简单的破碎、研磨成粉末压片或熔融制成；
2、分析范围广：理论上从元素Be到92号元素铀均可进行分析；
3、测量范围宽：从0.001%到均可进行分析。

X荧光光谱仪根据有手持和台式两种，所采用的都是X荧光光谱仪的原理。X荧光光谱仪由激发源和探测系统构成，根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息，X荧光光谱仪随着分光、探测系统及X光管等的不断改善和电子计算机的应用，而得到迅速的推广和发展。可以预料，对新技术、新方法的探索，还会不断促进XRF荧光光谱仪器的更新发展。
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