臭氧发生器冷却水设计闭路循环冷却水系统，通过板式换热器换热，为臭氧发生器提供冷却水。闭路循环水冷却系统包括板式换热器、循环水泵、膨胀罐及阀门等。臭氧发生器冷却水出水管路装有流量开关、温度变送器，当冷却水流量不足、温度超过设定值时报警。

臭氧制备间内安装有臭氧/氧气泄漏报警仪，当制备间内环境中臭氧/氧气泄露超标时，系统根据检测信号来决定输出报警、启动排气风扇或停机。

臭氧制备间的臭氧气体通过臭氧主管通向臭氧接触池。

臭氧接触池内的尾气经除雾器去除水雾后，进入尾气破坏器。臭氧接触池配置2套尾气破坏器，其采用加热催化的方式将臭氧分解，整个尾气破坏器由尾气破坏箱控制。分解后的气体臭氧浓度小于0.08ppm，可直接排放到大气中。

臭氧制备间内安装有臭氧/氧气泄漏报警仪，当制备间内环境中臭氧/氧气泄露超标时，系统根据检测信号来决定输出报警、启动排气风扇或停机。

臭氧制备间的臭氧气体通过臭氧主管通向臭氧接触池。