SM-150 桌面式匀胶机

SM 系列的优点在于，具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力最小化，SAWATEC 公司开发了一种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保护碗。经由如此的高品质设计，也可以将维护成本最小化。因此，SAWATEC匀胶机可被优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所。

该匀胶机可提供便携桌上式和内嵌式两种方式。

产品功能：

1.  可编程，多 达50 个程序， 适用于重复工艺的快速启动功能
2.  触摸屏面板控制，方便用户程序配置
3.  工艺参数：转速、加速度、工艺时间
4.  旋转方向可选 (顺时针、逆时针)
5.  手动装卸基板
6.  通过具有安全保护的真空系统进行基板固定
7.  手动盖子带有空气入口和闭合安全保护

性能参数：

1.  转速范围：0 到 10,000rpm +/-1rpm
2. 工艺时间长达为 2376 s
3. 每个程序段的给胶时间为 99 s半自动匀胶机 SM-200
4. 
   

5. 半自动匀胶机SM-200

   
   

   可处理没有或表面结构非常低的衬底。SM系列性能卓越，因为它的高水平的均匀性和重复性。所有商业光阻剂都可以被均匀涂布。针对多种多样的应用设计的专用卡盘，有助于提高在基材选择方面的高度灵活性和可使用性。

   产品功能：

   1. 闭合工艺室由PETP材质做成的(碗和防溅环)
   2. RCCT系统(旋转闭合腔体技术Round-Closed-Chamber-Technology)
   3. 高动态、直接驱动交流伺服电机
   4. 旋转速度6000 rpm  +/-1 rpm(可选10000)
   5. 可编程电驱动分配手臂，可以静态或动态滴胶
   6. 衬底通过真空固定和安全互锁保护
   7. 一个滴胶臂，可以最大放置4路液体管路
   8. 液体是由玻璃瓶和精密计量泵来供应的，包括低液体传感报警
   9. PP材质的废液桶，带有高液位传感器

   10. 半自动喷胶机 iSPRAY-300

       
       

       针对具备高度结构化晶圆形貌、深度 MEMS 结构或不平整表面特征的基 板，SAWATEC 公司的 iSPRAY-300 能够确保尽可能均匀的喷涂效果。它是一款精密的喷胶机，适用于手动喷涂或喷雾显影工艺，主要被应用于研究与开发实验室，尤其是 MEMS 加工的试产和小量产场合。 经过工艺优化的喷嘴能够结合低粘度的、特别适用于喷涂作业的光刻胶(例如 Shipley 1813、AZ 4999、AZ 9260、SU8 等)生成最精细的小液滴。在一个封闭式工艺室中喷嘴经由“弓”字型行进路径进行喷涂，由此可以确保整个基板表面上均匀的喷涂效果以及高度可再现性。该设备可用于圆形或正方形基板，最多可同时喷涂 4 个晶基板。 iSPRAY-300 喷胶机适用于最大直径为 300 mm 的晶圆或尺寸为 12x12 英寸的基板。

       产品功能：

       1.  可编程，多达 50 个程序
       2.  适用于重复工艺的快速启动功能
       3.  触摸屏面板控制，方便用户程序配置
       4.  工艺参数：喷嘴行进路径，喷洒臂速度，喷洒时间，锥形束形状电气驱动的喷洒臂，其在 X 或 Y 轴方向上的速度可选
       5.  可调整的喷嘴，具有恒定的喷洒压力和自动的清洁功能
       6.  用于计量压缩空气和检查真空度的指示元件
       7.  手动装卸基板

       性能参数：

       1.  喷洒臂的速度和定位精度：高达 0.4 m/s；±0.1mm
       2.  每个分段的喷洒时间：长达9999 秒，调节步幅为 0.1 秒
       3.  喷洒循环的数目：多达 20 个曲回循环
       4.  环境温度：+4 至 +60°C