X荧光光谱仪根据有手持和台式两种，所采用的都是X荧光光谱仪的原理。X荧光光谱仪由激发源和探测系统构成，根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。
X荧光光谱仪根据有手持和台式两种，所采用的都是X荧光光谱仪的原理。X荧光光谱仪由激发源和探测系统构成，根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息，X荧光光谱仪随着分光、探测系统及X光管等的不断改善和电子计算机的应用，而得到迅速的推广和发展。可以预料，对新技术、新方法的探索，还会不断促进XRF荧光光谱仪器的更新发展。

X荧光光谱仪优点：
1、分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟*可以测完样品中的全部待测元素；
2、X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。(气体密封在容器内也可分析)但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定；
3、非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好；
4、X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析；
5、分析精密度高；
6、制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。

X荧光光谱仪的使用注意事项： 
1、 为了保持仪器的良好外观，需经常对仪器表面做清洁工作，用软布擦拭灰尘；
2、 向样品腔内放样品时，一定要注意清洁，不可使样品尘粒掉入其中，否则会污染X光管和探测器窗口，造成测量失准和探头损坏；
3、 样品盖需要用酒精棉球做好清洁工作； 
4、为使仪器能长期工作正常，需定期对各项参数进行测试，并进行调整；
5、 仪器只允许经培训的人员才能操作，其他人员一律不能操作；
6、 使用、保存和搬动中，要特别小心，以免磕碰、损伤外表、损坏内部线路。

X荧光光谱仪的优势：
1、制样简单：通常情况下是物理制样。试样经过简单的破碎、研磨成粉末压片或熔融制成；
2、分析范围广：理论上从元素Be到92号元素铀均可进行分析；
3、测量范围宽：从0.001%到均可进行分析。
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