真空监测

HORIBA 的质谱仪之一。紧凑的尺寸是通过微型四极滤质器阵列的专利设计实现的。该阵列提供与质谱仪相似或更高的灵敏度，但体积只是其中的一小部分。该能够在比高得多的压力下运行，因此了对额外差动泵送设备的需求。RGA可作为可靠的工具，在加工前检测真空室的状况；例如检测真空室中的水分。

我们还提供屡获殊荣的电容式压力计，它结构紧凑，全金属，并具有自动温度调节功能。

HORIBA 蒸气浓度监测仪使用非色散红外吸收法测量技术 (NDIR)，性能可靠并提供高性能。

GE50A

VG系列

电容式压力计 VG 系列

电容压力计

电容式压力计 VG 系列是紧凑型全金属的，具有自动温度调节类型。 

细分市场：半导体

部门：干控制

制造公司：HORIBA STEC, Co., Ltd.

我公司还销售OVAL流量计、SPONSLER流量计、KAWAKI流量计、TRIMEC流量计、ELSTER流量计、ELETTA流量计、kem流量计、KOBOLD流量计、NITTO SEIKO流量计、MKS流量计等产品