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高纯 气广泛应用 于各行业 和工业生产 中，通常 用空气分离工艺 来制取 ，用气态 性高纯气体通过 管道 或钢瓶 收集 容器 输送 给用户 ，用槽车 运输 给用户 。 对于 高纯气体 管道 输送 工艺 ，贸易 转换 计量 通常 采用 气体流量计 ，其公称 通径 在50 毫米 至数百 毫米 之间 。 大多数 交接点 交接点 数量 大，结算 额高 ，往往 是由供需双方 各装一套 流量计 ，从而 做到 公平 计量 ，万无一失 。
对于 高纯气体 流量计 的选择 ，由于 测量 对象 的特点 和传统 习惯 ，多选用 标准 孔板流量计 ，此类 流量计 有以下 特点 ：1)工作 稳定 ，抗干扰能力 强，维修 更换 简单 方便 。2)流量测量 范围广 。测量 的准确性 可以 满足 气体 交易 交接 的要求 。

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便于 计量检定 。 大多数 的检定 方法 都是 几何 检定 ，方法 简单 ，成本 较低。 有些 供方 (或需方 )要求 在通过 几何 法检定 后，再用实流法进行 一次 检定 。 经验 证，1套流量计 各环节 均合格 ，实流检定 也能 合格 。5)价格 与科里奥利质量流量计 相比 要便宜很多 。6)量程 比窄是孔板流量计 的一大 缺点 ，但近几年来 ，双量程 孔板流量计 的发展 ，可以 将量程 比扩大 到33 倍，并达到 1.0 %的不确定度 ，弥补 了这一 缺陷 。在采用 差压式流量计 测量 蒸汽流量时，必须 把气相差 压信号 转化 为凝块 。
并且 由于 高纯气体 无尘 、无水滴 、无油 污染 ，为高纯气体 的测量 创造 了优越 的条件 。



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热式气体质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。

能源计量是科学管理能源，实现节能降耗，提高经济效益的重要手段。流量仪表是能源计量仪表的重要组成部分，水、人工燃气、、蒸汽和油品这些常用的能源都使用着数量极其庞大的流量计，它们是能源管理和经济核算不可缺少的工具。

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价格相较于科里奥利质量流量计便宜很多。量程比窄是孔板流量计的一大缺点，但是近年来蓬勃发展双量程孔板流量计，能将其量程比扩大到33倍，而且达到1.0％不确定度，从而弥补了该缺陷。高纯气体的纯度极高，组分的变化完全可以忽略不计，因此，气体的密度除了受温度、压力及压缩系数影响之外，无其他因素。即使质量流速低到0.1Nm/s都有很好的线性。此外还具有快速响应的能力。恒功率原理可以检测较高的流速变化，在大流速应用场合有非常好的表现力，但低流速特性不如恒温差，其次响应时间相对于恒温差较差。

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热式气体质量流量计大都采用开路的负压空气标定，然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如气、二氧化碳、氧气、氢气、氨气等等。修正标定必然导致测量精度不能保证，恒温差原理具有非常好的的低流量特性，即使质量流速低到0.1Nm/s都有很好的线性。此低压标定后的表应用在高压工况，空气介质标定后的表应用在其他气体介质，测量精度无法保证。然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如气、二氧化碳、氧气、氢气、氨气等等。

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浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安装姿势影响。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响，使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得测量,热气体质量流量计是一种用于测量各种气体流量的仪器，不仅具有测量精度高、稳定性好的优点，而且在长期使用中可以提高企业的使用成本。使用空气流量计时，通过过流式流量计推动涡轮叶片转动。叶片转速与流过空气流量计的气量成正比。流量计口安装有一特殊设计的导流架，随着流量的增大，对进入流量计的气流进行加速。采用导向架可以消除涡流、非对称流等潜在流体扰动。同时，推动涡轮叶片的动力增加。

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利用流动流体传递热量改变测量管壁温度分布的热传导分布效应的热分布式流量计曾称量热式;2)利用热消散（冷却）效应的金氏定律。又由于结构上检测元件伸入测量管内，也称浸入型或侵入型有些在使用时从管外插入工艺管内的仪表称作插入式。

TMF无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小；带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。

TMF使用性能相对可靠。与推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。

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热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右；用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可,

热式质量流量计响应慢。

被测量气体组分变化较大的场所，因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差。

对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量。

对于热分布式TMF，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，必须定期清洗；对细管型仪表更有易堵塞的缺点，一般情况下不能使用。

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热分布式仪表使用口径和流量均较小，较多应用于半导工业外延扩散、石油化工微型反应装置、镀膜工艺、光导纤维制造、热处理淬火炉等各种场所的氢、氧、氨、燃气等气体流量控制，适用的工业管径范围宽，可达3m，输出信号与被测流量线性，精度高，可测量电导率≥1μs/cm的酸、碱、盐溶液、水、污水、腐蚀性液体和泥浆、矿浆的流体流量。但是空气流量计不能测量气体、蒸汽和纯净水的流量。