视频显微镜单元 VMU

■特点

·紧凑、轻巧的相机观察专用显微镜。

适用于金属、树脂、印刷表面、微小运动物体等各种观察对象。

·适用于使用YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)的微细加工。※  

※不保证激光振荡器配备系统的综合性能和安全性。

半导体电路的切割、修整、修正、打标、薄膜(绝缘膜)的去除和加工、液晶彩色滤光片等的修复(修正缺陷)等。

·适用于红外光学系统。※

※另需红外光源和红外摄像机等。

硅类的内部观察、红外光谱特征分析等。

大视场视频显微镜单元 WIDE VMU

■特点

·高密度配置多个单元，可以对大范围进行集中检查。

·除了通常的明视场观察外，还适合用于外观检查和划痕检查的暗视场观察，以及具有偏光特性的观察对象的偏光观察。

精密显微镜单元 FS70

■特点

·带目镜观察部的小巧显微镜单元。

适用于金属表面和半导体、液晶、树脂等各种观察对象。

·适用于使用YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)的微细加工。※

※不保证激光系统产品的性能和安全性。

半导体电路的切割、修整、修正、打标、薄膜(绝缘膜)的去除和加工、液晶彩色滤光片等的修复(修正缺陷)等。并适合作为半导体故障分析用探针台的光学观察部分。

·适用于红外光学系统。※

※另需红外光源和红外摄像机等。

硅类的内部观察、红外光谱特征分析等。

明视场用物镜

M Plan Apo / M Plan Apo HR

■特点

·无限远校正

·明视场观察用

·长工作距离

·平场复消色差规格

明视场用近红外区校正 物镜

明视场用紫外区校正 物镜

M Plan UV

■特点

·无限远校正

·明视场观察及激光加工用

·长工作距离

·对紫外区(波长266nm)和可见区(常用观察波长区)进行了校正设计。

·重点保证了紫外区的高透射率。