北京科创鼎新真空技术有限公司主营：氦检漏设备,氦质谱检漏仪,LNG抽真空设备

真空箱法氦质谱检漏的原理与系统特点

真空箱法氦质谱检漏的充气回收检漏系统

1．配置与气路控制

真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。

工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：氦气储存罐(高压罐)，氦气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。

真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、PLC系统(可编程逻辑控制器)，充氦回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。

2.系统检测过程

1)、通过v1、V4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭V1，打开V2

2)、充氦系统通过V2对工件进行充氦至核定的压力，稳定，关闭V2

3)、关闭V4，打开V3、V5，处在正常工作状态待命的氦质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断V3、V5，打开V2对氦气进行回收。

4)、关闭V2打开V6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。

5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的氦气回收,对真空箱和管道巾的氦气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。

6)、维持泵有一定的氦分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。

本产品信息由科创真空提供，如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询，科仪创新竭诚为您服务！

用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1.氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件.使用安全。

2、在氮两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6)，质荷比都与氮相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开，定标找氨峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

氦质谱检漏仪

充氦法

的整体检漏就是可以用这种方法，将放入大型环模室中，利用环模设备的真空系统将环模抽成真空，先用辅助泵进行粗抽和预抽，在检漏时先通过机械泵将及充气管道抽成真空后，将氦气充入中，压力保持和工作的压力一致，开启氦质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器，就可以直接测量的漏率了。

科创鼎新以诚信为首 ,服务至上为宗旨。公司专注氦检漏设备,公司拥有强大的销售团队和经营理念。想要了解更多信息，赶快拨打网站上的热线电话！