低温等离子装置是利用离子发生器产生的高能等离子、电离、裂解废气中的各种成份，从而发生一系列复杂

的化学反应，将有害物转化为洁净的无害的物质达标排放至大自然。

气体经过等离子处理装置的反应器区域时，在高能电子和自由基强氧化等多重作用下，气体中的有机物分子链被断开，发生一系列复杂的氧化还原反应，生成 CO2、H2O 等无害物质，正负离子可以清新空气。另外，借助等离子体中的离子与物体的凝并作用，可以对有机废气中小至亚微米级的细微颗粒物（0.1-3 微米）进行有效的收集去除。