・采用直线电机，使搬运、推送和长度测量系统小型化。
・厚度：9mm，质量：130g（行程10mm时）。
・最大推力：6N。
・重复定位精度：±5μm。
・推进测长精度：±10μm。
・最高使用频率：500cpm。