射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中。
射频电源产生等离子的原理，是在一个密闭的真空压力容器内，利用真空泵获得一定的真空度，射频被馈入到真空室的两个极板之间。在两个极板之间产生一个变电场。气体在电场上被电离，产生相对应的离子。带电离子被加速不断的碰撞气体分子产生级联效应。就这样产生了辉光，从而产生了等离子体。

射频电源区别于其他直流电源，偏压电源，中频电源的优势：当交流电源的频率低于50kHz时，气体放电的情况与直流时候的相比没有根本的改变。当频率超过50kHz以后，放电过程开始出现变化：
1、在两极之间不断振荡运动的电子可从高频电场中获得足够的能量并使得气体分子电离，而由电离过程产生的二次电子对于维持放电的重要性相对下降；
2、高频电场可以经由其它阻抗耦合进入沉淀室，而不必再要求电极一定要是导体。也可以认为，由于所用电源是射频的，射频电流可以通过绝缘体两面间的电容而流动。

射频电源是一种大功率开关电源产品，其作用原理也是这种，作为一种大功率开关电源在镀膜行业中广泛运用，因为它的功能具有高精密，率，大功率和高工艺制程的可控性，所以才会在现代工业镀膜行业中被广泛运用，并且这些行业是离不开它支撑的，是镀膜工艺中不可缺少的高科技高新电源产品，电源产品有中频，直流，射频等等方面，在它使用的行业中也包括很多种，例如：太阳能、玻璃镀膜、半导体晶圆、光磁存储媒体、平板显示器、类金钢石镀膜、工具镀钛、装饰镀等。AR电源可是工业领域电源的，工业朝正确的方向前进，品质可靠，性能稳定，使用简单。

射频电源是可以产生固定频率的正弦波电压，频率在射频范围（约3KHz～300GHz）内、具有一定功率的电源。
射频电源已广泛应用于半导体工艺设备；LED与太阳能光伏产业；科学实验中的等离子体发生；射频感应加热；；常压等离子体消毒清洗等。
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