涡轮分子泵的大致原理如下所示。

在气体分子相互碰撞之前的距离即平均自由行程增大的空间(一般是指0.1Pa以下的真空区域)内，气体

分子将撞在高速移动的壁上，即气体分子冲击着转子叶片。该气体分子被转子叶片弹出时，以垂直于转子

叶片表面的180°立体角进行反射，与入射方向无关。假设转子叶片表面上没有发生热交换，弹出的气体

分子速度为其自身的热运动速度与转子速度的矢量和。由于转子赋予气体分子的速度由其几何形状和转速

而定，因此气体分子从无方向性的热运动转换为有方向性的运动。

MAG 中磁悬浮轴承运行中没有磨损。除了磁悬浮轴承，MAG 还有保护轴承，该轴承保

护转子以防泵有外部振动时与定子发生机械接触，并在停泵时支撑转子。保护轴承使用寿命

有限。请遵守以下说明才能达到最大使用寿命。

· 泵运行时，避免振动和冲击（例如来自其他泵），冲击尤其有害。如果泵有在机械轴承

上运行的现象，则立刻停泵。

· 避免频繁开机和关机。

· MAG 不要突然接触已经抽真空的真空室。压力冲击会使转子接触保护轴承，结果增加

磨损。

· 不要用电源控制MAG 停机。用停机命令。在泵运行的同时切断电源将使保护轴承发

生磨损。如果电源意外断开，重新连接。