然而对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应

符合以下原则：

1、洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

2、相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。

3、洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

地面：地面材料多采用聚氨脂涂料、环氧树脂、人造革、水磨石www.qilvc.com，为了有效预防地面材料发尘和提高地面材料的使用寿命，可采用防静电积聚的蜡水打蜡。蜡面用超滤尘工业吸尘机吸尘或洗地吸干机进行厂房地面清洁。

对风口、缝隙、阀门、灯具、门窗、管孔用超滤尘工业吸尘机吸尘或用无尘抹布擦拭。

清洁剂的使用要求：洁净厂房对湿度要求严格，尽量避免湿洗，必要时可用中性清洁剂，尽量少用酸性或碱性的清洁剂。清洁剂能消除静电更隹。

对于半导体工业而言，无尘室是一必要且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求非常之严格，故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输，而清除地板所用者大部分为消毒的药品及化学药品，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，快破了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。