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真空式等离子处理系统CRF-VPO-8L-S

名称（Name）

真空式等离子处理系统

型号（Model）

CRF-VPO-8L-S

控制系统（Control system）

PLC+触摸屏

电源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz,3kw

中频电源功率（MF Power）

600W/13.56MHz

容量（Volume）

80L（Option）

层数（Electrode of plies）

8（Option）

有效处理面积（Area）

400（L）*300（W）（Option）

气体通道（Gas）

两路工作气体可选： Ar、N2、CF4、O2

产品特点：超大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，有效控制设备运行。

可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求。

保养维修成本低，便于客户成本控制。

高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。

应用范围：主要适用于生物医疗行业，印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。

先讲一下与传统加工工艺相比，等离子清洗机有哪些优点？等离子体功效为气固相干式化学反应，不消耗水源，不需添加化学药剂，对自然环境无污染。全过程气体干燥处理方式，无需降解剂和水，几乎不会形成环境问题，所以节能环保，节省更多费用。

等离子清洗机适用范围广，加工对象不分原料种类，均可完成加工处理，如金属材料、半导体芯片、金属氧化物及大部分纤维材料均能很好的进行加工处理；作用时间短，反应速度快，反应级数高，加工对象广，能显著提高产品质量。基材的原有功能并没有改变，改性后的材料只是在表面形成了一些纳米技术的效果而已。例如纳米半导体芯片的蚀刻加工。

与常温相近的温度，特别是对纤维材料而言，比电晕放电方式贮存时间更长，表面张力系数更高。功能仅涉及纤维材料的浅表层，在保持原料自身特性的同时，可塑造出多种新的功能，成本较低，设备简单，维修方便，可连续运行，因而几瓶特殊的气体可以代替上千公斤的清洁剂，因此，进行维修清洁的成本要比进行湿法维修清洁要低得多。

全过程可控制加工工艺，技术参数可通过设定及资料记录查询，完成品质管理。处理工艺简单，使用方便，生产制造可操作，企业产品完整可靠。对加工后的物体体外形状没有限制，大小、简单或繁杂，零件或纺织品等，都可以进行加工处理。

等离子体清洁器在运转时，会产生一些辐射，但是这些辐射非常小，不会对人体产生不良影响，而且它本身还装有防电磁辐射的屏蔽罩，所以这些辐射完全可以忽略。该工艺属于安全处理工艺，对操作人员的身体没有伤害。此外，设备在运行时，不需要长时间的停在它的一边，产品加工处理到完成它的系统自动会有提示信息提示，到时候再去下道工序，所以不用担心。