HEX六自由度精密定位系统

（HEX高精密六自由度平台）

HexGen ^®六足代表六度的自由度（DOF）的定位性能的下一代。HEX300-230HL是首屈一指的中等负载，超精密六脚架，适用于从传感器测试到同步加速器样品处理的许多应用。

市场独有的性能

运动系统的设计和规格中存在许多折衷。HEX300-230HL以其高速和亚微米精度，消除了对应用规格的折衷。Aerotech的HexGen六脚架是当今市场上可提供低于5μm的保证定位精度规格的六脚架。

卓越的结构设计

HEX300-230HL由六个高精度支柱驱动，这些支柱由精密的预紧轴承，滚珠丝杠和驱动组件组成。与由直流有刷伺服电动机驱动的竞争性六足动物不同，HEX300-230HL由Aerotech的交流无刷无槽伺服电动机驱动，可程度地延长设备寿命和性能。与使用皮带，减速机或顺应性联轴器的竞争性设计相比，直接将AC无刷伺服电机与滚珠丝杠耦合可提高驱动刚度，提高定位精度并实现更好的最小增量运动（XYZ中为20 nm，θxθyθz为0.2μrad）。特殊设计的支柱枢轴接头可提供低摩擦力和高刚度，从而增强了整体六脚架的性能。

设计灵活性

HEX300-230HL的设计为用户优化了灵活性和定制选项。平台和基座可以通过用户特定的功能或安装模式轻松进行修改。HEX300-230HL在平台上有一个直径为100毫米的通孔，而在基座上有一个60毫米直径的通孔，可从底部进入工件。底座安装孔直接适应英制或公制光学平台。

HEX300-230HL

设计特点

• 六自由度定位，线性行程达到110 mm，角度行程达到40°

• 精确设计，保证定位精度规格

• XYZ中最小增量运动达到20 nm，θxθyθz中最小增量运动为0.2μrad

• 灵活的配置和定制

• 可根据要求提供真空准备

• 强大的控件和软件，可视化的工作和工具坐标系

HexGen ^®六足代表六度的自由度（DOF）的定位性能的下一代。HEX500-350HL是高负载，超精密六脚架，是X射线衍射，传感器测试和高力设备操作中的理想选择。

HEX500-350HL

运动系统的设计和规格中存在许多折衷。HEX500-350HL具有高负载能力，大行程，高速度和亚微米精度，因此不会迫使您在应用规格上做出妥协。

卓越的结构设计

HEX500-350HL由六个高精度支柱驱动，这些支柱由精密的预紧轴承，滚珠丝杠和驱动组件构成。与由直流有刷伺服电机驱动的六足动物不同，HEX500-350HL由交流无刷无槽伺服电机驱动，可程度地延长设备寿命和性能。与使用皮带，减速机或顺应性联轴器的竞争性设计相比，伺服电机直接与致动器滚珠丝杠耦合，从而提高了驱动刚度，提高了定位精度，并实现了更好的最小增量运动（XYZ中为20 nm，θxθyθz为0.2μrad）。 。支杆枢轴接头经过精心设计，可提供低摩擦力和高刚度，从而增强了整体六脚架的性能。

设计灵活性

HEX500-350HL在设计时考虑了灵活性和定制性。平台和基座可以通过用户特定的功能或安装模式轻松进行修改。对于需要不同行程或独特性能参数的应用，可以考虑该标准来定制设计的运动学和/或结构布局。

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