AerotechQNP系列压电纳米定位平台
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价格

订货量(套)

¥123456.00

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联系人 于洪超

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发货地 北京市
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商品参数
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产品特性 纳米定位
加工定制 Array
品牌 aerotech
型号 QNP
货号 QNP
种类 QNP
规格尺寸 10mm
是否跨境货源 Array
商品介绍

Aerotech QNP系列压电纳米定位平台

关键词:纳米定位平台/压电平台/压电纳米定位台



QNP系列压电纳米定位平台以紧凑,高刚度的封装提供纳米级的性能。多种行程(100μm600μm)和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准的应用的理想解决方案。

紧凑包装中的高质量

QNP压电平台受精密挠曲的指导,该挠曲使用有限元分析进行了优化,以确保高刚度和较长的设备寿命。最终的设计提供了出色的刚度和谐振频率,从而实现了高处理量和快速的闭环响应。此外,集成的XY封装程度地减少了平台堆叠高度和移动质量,从而实现了出色的静态和动态多轴性能。

高分辨率和定位精度

所有QNP压电级均采用独特的电容传感器设计,提供闭环反馈选项,可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位滑架的输出,从而实现出色的精度和可重复性。

超精密控制

AerotechQ系列控制器和驱动器配合使用时,QNP压电纳米定位台具有亚纳米级的定位分辨率和就位稳定性(抖动)以及高定位带宽。

QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈(开环)。对于需要紧凑的尺寸,高动态特性和亚纳米级定位分辨率,但又不需要定位精度和可重复性的应用,开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源(干涉仪,视觉系统,光电探测器等)控制压电位置的情况下,也可以使用开环设计。

可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L-Z级,其中公共行程与转接板一起安装。

所有QNP压电平台均可根据要求提供真空制备版本。

设计特点

  • 行程范围从100μm600μm

  • 设备寿命长

  • 高精度,无摩擦的挠性导向系统

  • 借助直接计量电容传感器,可实现高达0.007%的出色定位分辨率和线性度

  • 与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性

  • 开环和真空版本



Model

QNP40XY-100

QNP50XY-250

QNP60XY-500

Closed-Loop Travel

100 µm

250 µm

500 µm

Open-Loop Travel, -30 to +150 V(1)

120 µm

300 µm

600 µm

Resolution(2)

Closed-Loop

0.30 nm

0.50 nm

0.90 nm

Open-Loop

0.15 nm

0.20 nm

0.40 nm

Linearity(3,4)

0.01%

0.01%

0.007%

Bidirectional Repeatability(5)

2 nm

2 nm

5 nm

Pitch/Yaw

6 µrad (1.2 arc sec)

6 µrad (1.2 arc sec)

12 µrad (2.5 arc sec)

Stiffness (Direction of Motion)(6)

1.05 N/µm

0.36 N/µm

0.24 N/µm

Unloaded Resonant Frequency(6)

Top Axis

885 Hz

445 Hz

315 Hz

Bottom Axis

635 Hz

295 Hz

200 Hz

Resonant Frequency

(50 gram load)(6)

Top Axis

495 Hz

305 Hz

240 Hz

Bottom Axis

335 Hz

240 Hz

170 Hz

Maximum Acceleration

(Unloaded)(7)

Top Axis

600 m/s2

370 m/s2

210 m/s2

Bottom Axis

320 m/s2

160 m/s2

90 m/s2

Moving Mass (Unloaded)

Top Axis

42 g

56 g

98 g

Bottom Axis

79 g

126 g

217 g

Max Payload(8)

1 kg

1 kg

1 kg

Stage Mass

0.11 kg

0.17 kg

0.27 kg

Material

Anodized Aluminum(9)

MTBF (Mean Time Between Failure)

30,000 Hours

 

QNP-Z压电纳米定位平台可提供电容传感器反馈或无反馈(开环)。对于需要紧凑的尺寸,高动态特性和亚纳米级定位分辨率,但又不需要定位精度和可重复性的应用,开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源(干涉仪,视觉系统,光电探测器等)控制压电位置的情况下,也可以使用开环设计。

可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L-XY位移台,其中公共行程与转接板一起安装。

机械规格1

模型

QNP40Z-100

QNP50Z-250

QNP60Z-500

闭环旅行

100微米

250微米

500微米

开环行程,-30+150 V 2

140微米

300微米

600微米

解析度3

闭环

0.30海里

0.50海里

0.90海里

开环

0.15纳米

0.20海里

0.40纳米

线性度4,5

0.01%

0.01%

0.007%

双向重复能力6

1纳米

1纳米

3纳米

俯仰/滚动/偏航

15微弧度(3弧秒)

25微弧度(5弧秒)

39微弧度(8弧秒)

刚度(在运动方向上)7

0.96 N /微米

0.40 N /微米

0.42 N /微米

空载谐振频率7

1050赫兹

510赫兹

310赫兹

共振频率(50克负载)7

620赫兹

340赫兹

260赫兹

加速度(空载)8

530 m / s 2

260 m / s 2

220 m / s 2

移动质量

53

83

234

有效载荷7

1公斤

0.8公斤

1公斤

舞台质量

0.08公斤

0.13公斤

0.31公斤

材料

阳极氧化铝10

MTBF(平均无故障时间)

30,000小时

更多产品信息联系:于先生 18510085666(同微信) 


联系方式
公司名称 北京高控科技有限公司
联系卖家 于洪超 (QQ:2799935409)
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地址 北京市