ABRS超精密转台

ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓，并且能够提供出众的角度定位精度，卓越的速度稳定性以及极小的运动误差。ABRS精密转台的设计应用于硅片检测，高精度测量，激光衍射系统，光学检测和制造以及纳米制造技术。

特点:

1.无刷无槽力矩电机直接驱动

2.卓越的速度稳定性（无齿槽效应）

3.极佳的运动性能，误差小，无抖动

4.直连式高精度圆光栅反馈

5.扁平结构设计

6.气浮轴承，无机械接触

台面直径：128~278mm

反馈分辨率：0.036~0.18 arc sec

双向重复定位精度：<1arc sec

定位精度： 2 arc sec

异步轴跳： 20nm

异步径跳： 20nm

ALAR直驱旋转平台

1.5种不同的孔径尺寸：100mm,150mm,200mm,250mm,325mm

2.持续或有限的行程

3.300-1000lb的高轴向负载能力

4.宽大的轴承能提供较高的有效负载和瞬间负载能力

5.卓越的精度和重复定位精度

6.抖动和跳动小

7.无接头电机提供平滑运动

8.无回差效应

9.精度不随齿轮的磨损而改变

10.每分钟45-300转的持续转速

11.有效负载必须在旋转中心的应用的完美选择，AZ滚动万向架应用的重要选择

12.10-6torr真空环境选项可选

孔径325mm

精度3.9arcsec

负载6463N

ALAR型号：

ALAR-34E-A010

ALAR-34E-A011

ALAR-34E-A012

ALAR-34E-A013

ALAR-34E-A014

ALAR-34E-A015

ARMS超精密模拟仿真转台

1.为超高精度运动而设计。

2.无刷力矩电机直接驱动，可选更高速度和力矩电机。

3.突出的速度稳定性。

4.卓越的运动性能，误差小，无抖动

5.有效载荷达230 kg

6.预装有集流环

台面直径：146~260mm

反馈分辨率：0.02~4 arc sec

双向重复定位精度 0.5 arc sec

定位精度         2.5 arc sec

速度波动率       0.0001%

ADR系列精密转台

ADR系列直接驱动转台提供精确的角度定位和速度控制。应用范围包括高速激光加工和硅片精密检测。

特点：

1.无刷力矩电机直接驱动

2.无齿槽设计提供卓越的速度稳定性

3.极佳的运动性能，误差小，无抖动

4.直连式高精度圆光栅反馈

5.高精度机械轴承支撑

6.载荷可达150kg

台面直径：57~240mm

反馈分辨率：0.036~13 arc sec

双向重复定位精度： 1arc sec

定位精度： 2 arc sec

轴跳： 0.5um

径跳： 1um

ADR-34E-B042

ADR-34E-B043

ADR-34E-B044

ADR-34E-B045

ABRT超精密转台

1X射线衍射系统，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计

2

3

4,误差小,无抖动

5

6

7

台面直径100-200mm

分辨率0.027-0.055arcsec

双向重复定位精度<1arcsec

定位精度 <2 arc sec

异步轴跳 <20nm

异步径跳 <20nm

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