超高真空 (UHV) 光栅，真空光栅包括真空圆光栅和真空直线光栅尺，

UHV产品特征如下：

– RESOLUTE UHV是首款适合在UHV环境下使用的值真空式光栅

– 由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低

– 残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境

– 120 °C烘焙温度

– 非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零

– 具备工业标准的模拟和数字输出，分辨率达1 nm

– 电耗低、发热小

– 无气密孔

– 自适应电路可提供高性能、长期可靠性和低电子细分

误差 (SDE)（RESOLUTE UHV为±40 nm，TONiC UHV为±30 nm，RGH25F UHV和

RGH20F UHV为±50 nm)

– UHV兼容电缆

– TONiC UHV光栅具有光学参考零位

– 高精度直线光栅和圆光栅系列

RESOLUTE UHV、TONiC UHV、RGH25F

UHV和RGH20F UHV读数头

雷尼绍超高真空 (UHV) 兼容光栅系列中的所有产品都经过专门设计，用于各种科学、半导体

和其他高级工业应用场合，真空压力达10-11 Torr。其基本工作原理与我们的同类标准大气压下的产

品相同，但是UHV光栅在设计上消除气密孔，并且由洁净的真空兼容材料和粘合剂特制而成。产

品在UHV环境下的适用性已获得独立的专业检验站鉴定，包括残留气体分析 (RGA) 光谱测试。

该系列包括RESOLUTE、TONiC、RGH25F和RGH20F读数头，以及各种直线光栅和圆光

栅，提供优异的性能和高可靠性。

RESOLUTE UHV采用真正意义上的式光栅工作原理，与RESOLUTE系列的其他产品相

同。因此光栅具备小栅距性能，并且安装公差大，内在安全性高。RESOLUTE开启后立即确定

位置，减少非受控运动，并且有助于执行完整的轴命令，无需返回基准位置或者“开启并晃

动”。RESOLUTE的分辨率为1 nm，电子细分误差 (SDE) 为±40 nm，RMS噪音<10 nm，同时也

帮助用户显著提高性能。

该系列中的所有增量式读数头都包含动态信号调整功能，其中自动增益控制 (AGC) 有助于长

时间内获取稳定可靠的信号，而自动偏置量控制 (AOC) 则有助于提高信号保真度。AOC和光栅的

低位置噪声也有助于降低直驱系统的速度波动，从而在程度上帮助减少真空条件下电机中积

聚的热量。

通过直线测量标准确保了高精度，其中包括自贴式钢带栅尺、不锈钢和ZeroMet栅尺选项。圆

光栅选项包括轻薄小巧的RESR / RESM和超高精度的REXM圆栅，精确度保证优于±1角秒。