我国学者对不同时期WDXRF的进展曾予以评述。WDXRF谱仪从仪器光路结构来看，依然是建立在布拉格定律基础之上，但仪器面目全新。纵观30年来的发展轨迹，可总结出如下特点 。

检测技术的改进提高了检测速度。探测器技术及用于脉冲信号处理的电子学线路的迅速发展，在允许的死时间情况下，探测器接收光子的数量提高了1个数量级以上，如流气正比计数管由100 kcps提高到 2500 kcps，在保证同样分析精度情况下，元素的测定时间缩短了近10倍。如在20世纪80年代使用顺序式 WDXRF谱仪测定硅酸盐中10个常规元素需要约30 min，现在仅需3 min 左右。为了将计数率控制在探测器所允许的计数线性范围内，谱仪在测定同一元素的不同含量时可依据计数率自动调节管电流，确保在条件下测量，在时间内获得分析工作者预定的分析结果准确度。采用新的计数线路和多道分析器(MCA) 取代原有脉冲高度分析器，不仅可有效地扣除高次线干扰和晶体荧光干扰，且可同时处理不同幅度的脉冲信号，记录脉冲信号较原来快了100倍。

谱仪的操作由自动化向智能化发展。在掌握制样技术基础上，从事常规分析的人员经短期培训即可操作仪器，在智能化软件指引下完成常规试样分析。如在钢铁和水泥等行业，质量控制分析过程中从取样、制样、传输、样品装载和取出、测定和后报出分析结果，以及将分析结果输出到实验室自动管理系统与其他分析技术的结果进行汇总，均由软件完成。配有远程控制软件，用作指导维修和分析。

近些年来，X射线仪器仍然取得了巨大的进步，如：全反射X射线荧光光谱仪（TXRF）、聚焦微束X射线荧光光谱仪（μXRF）、偏振X射线荧光光谱仪（EDPXRF）等相继商品化。

WDXRF光谱仪近年同样取得了显著的技术进步：

X射线管

1) 4KW大功率: 4KW薄窗 X 射线管，对于 19K~92U 元素范围的重元素，提高灵敏度30%以上，对于 4Be~17Cl 元素范围的轻元素，提高灵敏度 70%以上。同时，4KW 薄窗X 射线管的冷却方式的改进，以及 X 射线发生器控制方式的发展，使得 4KW 薄窗 X 射线管在应用上的可靠性大大增强。 X 射线管功率也有小型化趋势，使自身的体积缩小, 而且无需外冷却水循环系统，如200w X射线管，性价比高、使用成本低，适用于要求固定的用户。

2) 铍( Be) 窗超薄化: X 射线管的铍窗厚度一般为75~ 125um, 有的产家的X射线管的铍窗厚度仅有30um, 这样大大提高了初级X 射线的透射率。薄窗光管对Be, B, C, N等超轻元素的分析，对微量样品分析，微区分析的发展起着极大动作用。

3) 光管端窗超锐化: 这种超锐X射线管外形独特, 头部尖细, 内部采用陶瓷绝缘, 其设计更加紧凑、合理、。窗口至样品的距离 较常规端窗管短( 约 16mm) , 大大提高了X 射线辐照强度。而且, 由于采用优良的绝缘和长寿命的灯丝, 延长了X 射线管的使用寿命。

4) 光管双靶化: 为了使轻重元素都能获 得激发效率, 一些仪器厂家将光管设置 成双靶型。如日本株式会社理学。