SMIl胃肠电检测仪压力传感器SM5652-015-G-3-SR

SMI（Silicon Microstructures, Inc.）是elmos半导体集团的子公司，为特定应用IC、传感器和完整微系统的工业领域提供成熟的解决方案。SMI是ISO/TS16949:2009的主要开发者，是针对广泛市场的MEMS压力传感器的制造者，拥有超过25年的经验。SMI的设计、生产和质量控制流程使其开发了当今市场上敏感、尺寸小的MEMS压力传感器。
  SMI的传感器系列的开发和制造使用业界先进的压力传感器技术和CMOS工艺。他们产生数字型、全信号调理和多级压力传感器的输出。温度补偿范围是-20℃至+85℃。补偿的压力可在0.15psi至30psi范围内根据用户要求定制。
  压力传感器系列的开发特别针对医疗（呼吸机，氧合器，流体排放等）、工业（气流，气压计，压力开关）和汽车（燃油蒸汽）市场。该产品的生产符合的工业标准（ISO 9001和ISO/ TS 16949）。

Silicon Microstructures, Inc(SMI) SM5651系列为带温度补偿、校准的双列直插微压传感器，该传感器性能优越，可采用恒流激励或恒压激励。SM5652系列为陶瓷基底贴装高稳定压阻压力传感器芯片，利用陶瓷基底上的厚膜电阻可进行零度校正和温度补偿.

SilICon Microstructures inc(SMI)硅微差压传感器

特点： 
压力量程0.15psi（SM5651-001)
压力量程0.30psi (SM5651-003)
压力量程0.80psi (SM5651-008)
压力量程1.50psi (SM5651-015)
压力量程 3.0psi (SM5651-030)

l.恒流（5651）或恒压（5852）激励
2.温度补偿范围宽（0-60℃）
3.跨度校准正高达±2%
4.零点校准及温度补偿
5.高性能、稳定的硅芯片封装
6.压力类型表压和差压配置


应用:
1、医疗设备、呼吸机、麻醉机和监护仪
2、HVAC（空调）
3、水平监测
4、流量测量
5、工业控制
6、微差压变送器
7、泄漏仪、泄漏检测
8、差压变送器
9、压力校验仪
10、大气采样器
11、气相色谱仪、液相色谱仪
12、风压机
13、印染、纺织设备
14、风洞试验
15、臭氧分析仪
16、铁路上高铁和普铁产品
17、远洋轮船上产品
18、气象监测分析仪器
19、室外环境采集模块
20、户外探险设备


备注：
1、正压指的是从晶圆底部进入；增益，在工厂校准使用的是负压
2、对于SM5652,量程为0.15psi的满量程输出是23.75mV(小)至26.25（）
3、测量温度超过22~58℃ 对于量程为0.15psi，满量程温度系数为±2%FS；零点温度系数为±2%FS；对于量程为0.3psi，满量程温度系数为±0.75%FS
4、对于量程为0.3psi，迟滞性为±0.45%FS；对于量程为0.15psi，迟滞性为±0.65%FS
5、直线拟合，是从晶圆顶部测量的对于量程为0.3psi，线性度为
±0.5%FS；对于量程为0.15psi，线性度为±2.5%FS
6、灵敏度匹配指的是部分与部分匹配的程度，对于量程为0.15psi，灵敏度匹
配性为5.0%FS 

原厂PDF规格书。

SM5651系列具体型号

SM5651-001-D-3-SR

SM5651-003-D-3-SR
SM5651-008-D-3-SR
SM5651-015-D-3-SR
SM5651-030-D-3-SR
SM5651-001-D-3-LR
SM5651-003-D-3-LR
SM5651-008-D-3-LR
SM5651-015-D-3-LR
SM5651-030-D-3-LR
SM5651-001-G-3-LR
SM5651-001-G-3-SR
SM5651-003-G-3-SR
SM5651-003-G-3-LR
SM5651-008-G-3-SR
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SM5651-015-G-3-SR
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