终端处理主要根据客户的特殊要求生产出超低有机型、无菌型、无热源型等的超纯水。针对不同要求有多种处理方式，如超滤过滤法用于去除热源，双波长紫外氧化法用于降低水中总有机碳（TOC），微滤去除细菌等。
    

纯水系统一般指通过各种水处理工艺和水质监测系统来到达到纯化水的目的的一类装置。天然水中常见杂质包括可溶性无机物、有机物、颗粒物、微生物、可溶性气体等。一般可以将水的纯化过程大致分为4大步，预处理（初级净化）、反渗透（生产出纯水），离子交换（可生产出18.2MΩ.cm超纯水）和终端处理（生产出符合特殊要求的超纯水）。

纯水设备特点：

1. 透水量大，脱盐率高。正常情况下≥98%2. 对有机物，胶体、微粒、细菌、病毒、热源等有很高的截留去除作用。3. 能耗小，水利用率高，运行费用低于其它脱盐设备。4. 分离过程没有相变，具有可靠稳定性。5. 设备体积小，操作简单、容易维护，适应性强，使用寿命长。