要求 解法方法
解决阴影问题 : 阴影的摩尔条文&双方向照射光系统
板弯实时补偿(2D+3D方案) : 板弯补偿(PadReferencing+Z-Tracking(达叨)
操作方便 : RenewalGUI、彩色3D图片
异物检测 : 30异物检测功能(选项)

测量原理：
非接触激光测度仪由激光器产生线型光束，一定的倾角投射到待测量目标上，由于待测与基板存在高度差，此时观测到的目标和基板上的激光束相应出现断续落差，根据三角函数关系可以用观测到的落差计算出待测目标与周围基板存在高度差，从而实现非接触式的快速测量。

SPC软件HSPC2000:根据指定的产品、生产线和日期范围进行数据查询、修改、删除、导出（文本和EXCEL表）、预览、打印，能统计平均值、值、小值、方差、标准差、不良数、不良率、偏度、峰度、Ca、Cp、Cpk、Pp、Ppk，并可绘制、预览，打印X-BAR管制图和R管制图（其中的管制参数可自行设定）。

相机分辨率 : 15um 20um 25um.
FOV尺寸 : 30*30mm(1.18*1.18inch) 40*40mm(1.57*1.57inch) 50*50mm(.97*1.97inch)