美国康宁Corning Tropel Flatmaster 100平面度仪

美国Flat Master系列平面度测量系统/平面度仪/平整度仪/平坦度仪基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识, 上美国康宁CORNING平面度测量仪品牌创造并生产出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科学领域产品的关键组成部分。美国康宁Corning Tropel Flatmaster 100平面度仪也称为平面度测量仪、平整度仪、平坦度仪等，为精密部件的制造商提供了业界优秀的平面度及表面形态测量。通过非接触式光学测量技术能在很短 的时间内记录下整个表面的数据。Flatmaster 100平面度仪提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度，能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量。

一、技术特点及应用领域：

无接触和无损伤测量

适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料

适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/石英/锗/铌酸锂

适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面

二、可测量技术参数：

Tropel Flat master 100平面度仪/平坦度仪/平整度仪可测量多种不同指标：

厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓

完整的分析系统：

三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度

可以实现自动、快速、准确、稳定的测量

超过15年的工业应用，全球几百台的装机量

三、技术参数：

精确度：50nm （2.0μ″）

重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）

分辨率：5nm （0.2μ″）

可测量工件尺寸：5mm-100mm（更小工件也可提供）

动态测量范围：>50um

测量数据点：230,000百万 / measurement

测量时间：5秒

电源：～220V 50Hz