◆设备重复性精度<<10% (6 Sigma)
◆自动消除板弯影响。
◆功能强大的过程控制软件(SPC)。

测量高度(Maximum Measuring Height)
±350μm (可选±1200μm)

像素大小
18um(可选10um、15um、18um、20um)
精度(Accuracy)
XY Position：10um；Height：小于1um
高度重复性精度(Height Repeatability)
Height:<1μm(4 Sigma)；
体积重复性精度(Volume Repeatability)
Volume：<1%(4 Sigma)

操作系统
Operating System Support
Windows 7 (64 bits) Professional
电源需求
Power Supply
220V AC/1
气压需求（Air Supply）
0.5MPa
设备规格(Equipment Dimension)
W850×D1000×H1530mm
设备重量(Equipment Weight)
780kg