高温炉操作规程

1 准备工作a,检查电源线接触是否良好b,检查连接线是否正常c,检查冷却水是否正常d,检查密封性是否正常e, 准备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2 开炉a,打开主电源开关b, 向炉体充ya气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板c, 将输送车开关打至 OUTd, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a,将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。b、拔出限位杆，输送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。需要在管式炉的炉膛内多处打开门，然后逐段修复，然后逐段修复，然后用高速气流吹扫。c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门4 抽气a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封b、置 DP 按钮于 DP ON，打开干式真空泵，打开真空计开关 P1G1，打开干式真空泵 。阀门，开始抽气测试泄漏率，c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开ya气阀门充ya气（20L/min）。加热 先打开水环泵 再按 RUN，开始工艺加热。冷却a、加热结束后，按工艺条件进行冷却。

高温炉洗炉步骤： 1.使用保护气体驱除炉内空气： （1）在电炉预热之前，一般应将保护气体引入炉内; （2）保护气体可以通过上，下和后洗涤炉口。打开自动调谐时，At指示灯开始闪烁，仪器进入自整定参数工作状态。 排气口的针阀应打开大尺寸，以便尽快的排出炉内空气; （3）通常，将约10倍体积炉的保护气体引入炉内，使炉内的氧浓度降至约10ppm; （4）当炉内氧气浓度满足产品工艺要求时，可关闭排气口针阀，节约保护气体，关闭炉口，进气口用于通过流量计进入 ; （5）在使用电炉的过程中，须在炉内保持正压，以防止外部空气进入炉内。

 2.真空泵预真空方式： （1）将任何一个出风口连接到真空软管; （2）预先清空炉腔; （3）获得保护气体; （4）对炉腔进行预真空。

高温马弗炉的维修保养

1、仪器应放正在干燥透风、无侵蚀性气体的中央，任务条件温度为10—50℃，于温度没有大于85%。

2、为保障丈量精准，年年使用电流位差计校正温度控制仪的测温表，免得惹起较大误差。

3、活期审查各全体热线有否松动，交换接触器的触头能否优良，涌现故障应及时修补。

4、数显马弗炉硅碳棒型炉子，发觉硅碳棒保护后，应改换规格相反况且电阻值近似的新硅碳棒。

改换时先卸下两端掩护罩与硅碳棒夹头，而后放入已保护的硅碳棒，因为硅碳棒易断，装置时须不慎，两端露炉壳内部分应相同，夹头必需紧固，使之与硅碳棒接触优良。假如夹头有重大氧化时应换新的，硅碳棒两端装置孔处的隙缝使用石棉绳阻塞。硅碳棒不得在***高温度下连续续任务4小时。应该选择正确的马弗炉压力表，以确定仪器的类我们应该选择正确的马弗炉压力表，以确定仪器的类型，范围，范围，精度和灵敏度，尺寸以及是否需要远程传输以指示，记录，调节，报警和其他功能。