化合物溅射靶材

中诺新材（北京）科技有限公司可以定制加工不同尺寸，不同纯度的二元，三元，多元化合物溅射靶材

氧化物靶材Al2O3 MgO Fe2O3 Fe3O4 Ga2O3 Nb2O5 NiO TiO2 ZnO ZrO……

氮化物靶材AlN BN Si3N4 TaN TiN……

碳、硫化物靶材BC SiC WC MoS2 WS2 CdS ZnS Bi2S3 ……

二元化合物靶材ITO AZO TZO GZO IGZO Bi2Se3 Bi2Te3……

多元化合物靶材CIGS PZT BST LSMO……

以上产品纯度，99.5-99.99%，可定制不同比例掺杂靶材，可提供圆靶，矩形靶。并且可提供靶材焊接绑定服务

粉末冶金说明

中诺新材（北京）科技有限公司有专业的冷压烧结设备，热压烧结设备，热等静压设备。采用粉末冶金工艺，经过热处理，机械处理及精密的机加工工艺，专业定制不同配比、不同尺寸的难熔金属材料及脆性材料的合金靶材。采用该工艺制备的靶材能够保证准确的合金配比，组织均匀，致密度高。

部分定制产品如下：钛铝合金 铬铝合金 铁锰合金 铱锰合金 钴铁硼合金 钨钛合金 铜铟硒

中诺新材可提供的常规陶瓷靶材如下：

氧化铝靶 Al2O3 99.99%

氧化铪靶 HfO2 99.99%

氧化镁靶 MgO 99.99%

氧化硅靶 SiO2 99.999%

氧化钽靶 Ta2O5 99.99%

氧化钛靶 TiO2 99.99%

氧化锌靶 ZnO 99.99%

氟化镁靶 MgF 99.99%

硫化锌靶 ZnS 99.99%

氮化钛靶 TiN 99.9%

氮化铝靶 AlN 99.9%

氮化硼靶 BN 99.9%

碳化硅靶 SiC 99.9%

常备现货的靶材尺寸：

φ50.8mm  φ60mm

φ80mm,

φ100mm φ101.6mm

其它尺寸圆靶、方靶可定制

陶瓷靶材质脆，受热不均易碎，推荐绑定铜背靶，以增强靶材导热性能，提供靶材利用率